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等离子体蚀刻及其在大规模集成电路制造中的应用 9787302489597 张海洋等清华大学出版社

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Engineering technical manual Semiconductor Technology

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本书聚焦等离子体蚀刻技术及其在大规模集成电路制造中的应用，介绍相关工艺主题与技术背景，适合半导体制造、集成电路工艺及电子工程领域的学习者和从业者参考。

ISBN-13 9787302489597 ASIN 7302489599 Views 129 Publisher Press Year 2019 Format Paperback Product Group Book Adult No Created March 10, 2026 Updated October 24, 2026

About This Book

本书围绕等离子体蚀刻展开，主题聚焦于该技术的基本内容及其在大规模集成电路制造中的应用。

等离子体蚀刻是集成电路制造中的重要工艺环节。本书以这一技术为核心，面向相关工艺与制造应用进行介绍。

本书适合关注半导体制造、集成电路工艺和电子工程技术的读者阅读，也可作为了解等离子体蚀刻应用的参考资料。

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